クリーンルームの微粒子計測・清浄度管理には
パーティクルセンシングモニター AES-FPシリーズ

パーティクルセンシングモニターAES-FPシリーズ
（微粒子計測モデル）

省スペースに設置が可能な
粒子見える化モニター

クリーンルームやクリーンブース、半導体・フィルム・食品の製造工程、印刷工程、病院施設などの清浄度管理を求める環境で、0.3μm（もしくは0.5μm）以上の粒子の常時監視が可能なパーティクルモニター（パーティクルセンサ）です。

クラス（Class）値で浮遊粒子の見える化に対応し、HACCP管理にも役立ちます。センサユニットは、生産装置等への組み込み用途にも適したコンパクト設計で、狭小スペースへの設置が可能です。

製品概要

低価格を追求した浮遊粒子計測が可能なパーティクルモニター（パーティクルセンサ）

モニタリング機能を必要とする場合、パーティクルセンシングモニター『AES-FPシリーズ』を。
制御システムへの組み込み及び、より多くの場所を計測する場合、センサ単体としてパーティクルセンサユニット『AES-FPS』を。

清浄度クラス1,000～100,000を4段階のLEDで表示

シンプルな操作性、表示により、清浄管理をより簡便にし、見える化を実現。

0.3μm（もしくは0.5μm）と数μm以上（参考値）の粒子数を出力

清浄度管理に必要なサブミクロンサイズの微粒子（※）だけでなく、数μm以上の粒子も管理することで、製造工程でのコンタミネーションの付着による品質不良発生を抑制。
（※）モデルによって検知粒子径が異なります。「0.3μm計測モデル」もしくは「0.5μm計測モデル」のいずれかをご選択下さい。

用途に合わせて、出力仕様の違う5モデルをラインナップ

パーティクルセンシングモニターの出力・通信は、警報出力、Ethernet、電圧出力、Wi-Fiから選択可能。パーティクルセンサユニットは、RS485で通信可能。

パーティクルセンシングモニターとセンサユニットの分離脱着が可能

予備のセンサユニットを使用することで、校正中も継続してモニタリングが可能。センサユニット単体でも使用可能で、狭小スペースへの設置が可能。

オプションで温湿度センサの搭載が可能

モニターへ温湿度センサ（RHU-LB151-11A-AES）を接続することにより、温湿度変化の常時モニタリングが可能に。

設置例 用途事例はこちら