パーティクルセンシングモニター
（空気清浄度管理、異物対策、
労働安全衛生管理）

今やFPD（フラットパネルディスプレイ）は現代の生活に欠かせなくなりました。液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ELディスプレイやLEDディスプレイなど様々な種類があり、テレビやスマートフォン・タブレットのみならず、最近ではスマートウォッチやVRゴーグルなどの電子機器にも使用されています。
こうしたディスプレイの製造には高密度実装技術が必要とされ、空気中の粒子の付着が製品品質に直接影響を及ぼすことから、通常は空気清浄度が確保されたクリーンルームで製造されます。なお、クリーンルーム内の空気清浄度は、製造プロセスごとに管理されており、その管理基準も異なります。最近はクリーンルームの設備性能そのものが向上していますが、人為的あるいは製造装置起因の発塵を完全に防ぐことはできません。

パーティクルセンシングモニターを設置すれば、基準器のパーティクルカウンターを使用した日常点検作業を補完するかたちで、リアルタイムでの異常監視を実現することが可能です。